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氮化硅的基本性质就是在于它的结构了,其中氮化硅的硅原子其实是位于四面体的中心,在它的周期也是具有四个氮原子的,并且分别在四面体的几个顶点,然后以每三个四面体共用一个原子的形式,在三维空间形成连续而又坚固的网络结构。氮化硅的很多性能都归结于此结构。纯Si3N4为3119,有α和β两种晶体结构,均为六角晶形,其分解温度在空气中为1800℃,在011MPa氮中为1850℃。Si3N4 热膨胀系数低、导热率高,故其耐热冲击性较佳。